12月25日，由張江高科、全球領先的半導體產業(yè)智庫芯謀研究聯合舉辦的“第八屆張江高科·芯謀研究集成電路產業(yè)領袖峰會”設備材料論壇分論壇在上海浦東召開。徐州博康董事長傅志偉以《高端半導體光刻膠自主發(fā)展之路》為主題發(fā)表了演講。

在芯片的光刻和蝕刻生產環(huán)節(jié)中，光刻膠涂覆于晶圓表面，經曝光、顯影和蝕刻等工序將光罩(掩膜版)上的圖形轉移到晶圓上，形成與掩膜版對應的幾何圖形。光刻膠貫穿芯片制作過程，是微電子技術中微納圖形加工的關鍵材料之一，也是光刻技術中涉及到最關鍵的功能性化學材料。

光刻膠在制造過程當中成本僅占5%左右。光刻膠占比并不是很大，但是它的放大效應非常明顯。中國半導體光刻膠市場規(guī)模約40億，若按照一萬倍放大效應來看，將會影響到電子、汽車制造等等國計民生領域，是非常重要的“卡脖子”材料。

光刻膠有很多種，按照曝光光源來分，光刻膠主要分為：UV紫外光刻膠(G線和I線)、DUV深紫外光刻膠(KrF、ArF干法和浸沒式)、EUV極紫外光刻膠。按應用領域分類，光刻膠可分為：PCB光刻膠、顯示面板光刻膠、半導體光刻膠。按曝光機理特點可以分為:正性光刻膠和負性光刻膠。在半導體行業(yè)里面，2μm以下的光刻膠一般為正性，先進制程也是以正膠為主。

在國外光刻膠產業(yè)分工比較明確，全產業(yè)鏈公司很少，但是有一個非常大的特點，即所有光刻膠的公司都是化學公司出身，基本上都在向前道樹脂、光酸各方面進行研發(fā)。他們采用的模式是，光刻膠所用的前道材料都由自己研發(fā)，再通過供應商進行定制生產，從源頭開始控制光刻膠的品質。

光刻工藝與光刻膠的技術水平、光刻機水平，決定了整個芯片制程。半導體光刻膠，尤其高端光刻膠，95%以上都是依賴于進口。國內用光刻膠材料品類多達200多種，各個芯片制造廠所用的光刻膠品類都有很大差異，關鍵點是多品類的搭配使用，缺一不可。有的廠家需的光刻材料品類多達80余種，正常一款芯片多則需要用到幾十種光刻膠，少也需要七八種。比如一個芯片里面需要二十種光刻膠，解決了十九種，只要有一種不解決，芯片也做不出來，就很難說是解決了卡脖子難題。

半導體光刻膠驗證成本高，導入周期長，具有很強技術壁壘和資金壁壘、客戶壁壘。光刻膠最難是客戶端驗證與反饋。之前沒有“卡脖子”斷供風險，芯片制造企業(yè)通常不會更換新的光刻膠供應商，大家沒有這種迫切的需求。但隨著美國對中國半導體產業(yè)的限制升級，為光刻膠實現國產化替代提供了唯一一次導入國內成熟產線的機會。

半導體光刻膠是非常復雜的配方體系。與普通化學品有一定的區(qū)別，其他化學品成分各方面比較單一，可以進行逆向分析，但光刻膠成分復雜，做不了逆向工程。同樣也沒法通過理化性質檢測光刻膠好壞。唯一證明光刻膠是否有效，只有在芯片制造驗證到最終的良率才能證明這款光刻膠的性能。

此外，光刻膠批次的穩(wěn)定性也會影響芯片良率。光刻膠生產的每一個階段指標很難控制，只有生產環(huán)節(jié)及前端原料環(huán)節(jié)，每一個細節(jié)穩(wěn)定，才能保障光刻膠的品質。原料端品控鏈條非常長，不僅僅是光刻膠品控，樹脂品控、單體品控、單體原料，甚至是下游材料，所有供應商都要求具有非常嚴格的品質管理。

國外企業(yè)發(fā)展光刻膠產業(yè)，通常是由光刻膠配方公司牽頭，聯合代工廠或者是委外工廠進行生產。國內找不到真正可以協(xié)同聯動的化學生態(tài)，只有自己生產才可能完成過程當中每個細節(jié)的品控。日本很多化學公司和原料供應商百年老店，常年穩(wěn)定，但國內很多工廠因為規(guī)模、環(huán)保等原因，供應鏈還存在著一定不穩(wěn)定性。

光刻膠企業(yè)還具有單一供應的特點。國外光刻膠公司之前很少有競爭，一旦有光刻膠導入新產線后，其他公司就會轉向下一個工藝端或者下一個功能膠，共同配合導入一個工藝里面。光刻膠沒有第二供應商，一款膠一般只有一家供應商。對于單品來說，光刻膠沒有辦法混批使用，每次更換光刻膠，產線都要清洗，所以芯片制造廠往往在工藝定型后就不再測試新的光刻膠。

國外很少聽說有專門做光刻膠的公司，所有光刻膠公司都是上規(guī)模的化學公司，光刻膠只是其中一個業(yè)務板塊。良好的化學基礎生態(tài)是研發(fā)光刻膠的基礎。中國解決光刻膠的問題，需要解決中國基礎化學生態(tài)條件，才有可能開發(fā)新的光刻膠或者更多精細化工電子化學品產品。

基于光刻膠行業(yè)的特點，傅志偉認為，光刻膠的自主化迫在眉睫，產業(yè)需要進行國內全品類全產業(yè)鏈自主研發(fā)。為解決卡脖子問題，博康很早就開始接觸光刻膠領域。據介紹，博康已從事光刻膠研發(fā)生產10年以上，單體研發(fā)生產超過15年，充分積累了研發(fā)生產經驗。公司所從事的高端光刻膠生產技術處于國內領先，擁有獨立完善的生產線和生產團隊、先進的檢測設備以及標準化車間?，F已搭建了完整的生態(tài)鏈、進行全產業(yè)鏈和全品類開發(fā)。

“博康已經實現了I線、KrF、ArF的量產供貨”博康董事長傅志偉介紹道：“公司目前擁有ArF和KrF光刻膠單體、ArF和KrF光刻膠、G/I線光刻膠、電子束光刻膠全產業(yè)鏈全品類等產品，覆蓋各種IC領域市場，服務客戶超過40家?！?/p>

公司希望能在未來三五年之內牽手合作伙伴，解決國內主要光刻膠全品類和全產業(yè)鏈供應問題。