近日，青島高新區(qū)2022年春季10個重點項目正式啟動建設(shè)。其中，總投資7億元的華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項目，將建設(shè)半導(dǎo)體襯底智能生產(chǎn)工廠，加工生產(chǎn)新一代晶片襯底產(chǎn)品，有效突破我國芯片制約性難題。

作為新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的細分領(lǐng)域，半導(dǎo)體一直是青島高新區(qū)產(chǎn)業(yè)布局的重點方向，目前已有20多家上下游企業(yè)在這里集聚，形成了包括芯片設(shè)計、封裝測試、設(shè)備制造、材料加工等在內(nèi)的半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈雛形。

▲工作人員正在對半導(dǎo)體產(chǎn)品進行檢測

年產(chǎn)33萬片，助力突破芯片難題

近日，在青島高新區(qū)，華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項目正式啟動建設(shè)，該項目采用碳化硅、氮化鎵、氧化鎵等第三代半導(dǎo)體化合物材料加工生產(chǎn)相關(guān)芯片襯底產(chǎn)品，廣泛用于光電子器件（激光器、探測器等），大功率器件（充電樁、新能源汽車動力組件、軌道交通、特高壓輸電組件等），及通訊微波射頻器件（4G、5G通訊基站）。

“我們深耕半導(dǎo)體化合物基礎(chǔ)材料研發(fā)和生產(chǎn)多年，具備了藍寶石、磷化銦、碳化硅、氧化鎵等一系列第二代、第三代半導(dǎo)體化合物的技術(shù)儲備和產(chǎn)業(yè)化能力，致力于打造青島市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈科技創(chuàng)新平臺?！鼻鄭u華芯晶元半導(dǎo)體科技有限公司董事長肖迪表示。氧化鎵晶體是一種新型的超寬禁帶半導(dǎo)體，它具有禁帶寬度更大、吸收截止邊更短、生長成本更低等突出優(yōu)點，成為超高壓功率器件和深紫外光電子器件的優(yōu)選材料之一。由于在軍事、能源、醫(yī)療、環(huán)境等領(lǐng)域有重要應(yīng)用價值，近年來，氧化鎵材料及器件的研究與應(yīng)用，呈現(xiàn)出顯著的加速發(fā)展勢頭，是當(dāng)前德國、日本、美國等國家的研究熱點和競爭重點。

據(jù)悉，該項目將建設(shè)半導(dǎo)體襯底智能生產(chǎn)工廠，加工生產(chǎn)新一代晶片襯底產(chǎn)品，助力突破我國芯片制約性難題，達產(chǎn)后將實現(xiàn)年產(chǎn)第三代大尺寸半導(dǎo)體化合物晶片襯底33萬片，年產(chǎn)值5億元。該項目的順利開工，標(biāo)志著華芯第三代半導(dǎo)體材料批量生產(chǎn)進入了實質(zhì)性階段，為我國第三代半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)化邁出了堅實的一步。

“鏈式”招引，貫通上下游產(chǎn)業(yè)鏈

華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項目的落地，加速了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在青島高新區(qū)的集聚，也為青島新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)增添了強勁的“芯”動力。

▲各種規(guī)格的半導(dǎo)體晶片

作為新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的細分領(lǐng)域，半導(dǎo)體一直是青島高新區(qū)產(chǎn)業(yè)布局的重點方向。據(jù)青島高新區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)事業(yè)部相關(guān)工作人員介紹，半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)流程十分復(fù)雜，大致可分為設(shè)計、制造、封裝、測試等環(huán)節(jié)，而青島高新區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大致可分為設(shè)備類、材料類、設(shè)計類、制造類等。

在設(shè)備類的企業(yè)中，埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司、高測股份、青島賽瑞達電子科技有限公司是代表企業(yè)。其中，埃地沃茲是世界500強企業(yè)阿特拉斯·科普柯集團旗下的品牌企業(yè)，其產(chǎn)品半導(dǎo)體真空設(shè)備干泵的全球市場占有率連續(xù)多年超過50%，成為該領(lǐng)域世界第一品牌?！拔覀兊暮献骰锇榘ň〇|方、長江存儲、三星、臺積電和富士康等半導(dǎo)體領(lǐng)域知名企業(yè)。” 埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司相關(guān)負責(zé)人介紹，真空泵市場在持續(xù)膨脹中，尤其是中國市場已進入快速增長期，發(fā)展前景廣闊。

青島嘉星晶電科技股份有限公司則是一家專注從事半導(dǎo)體材料研發(fā)、半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)、半導(dǎo)體技術(shù)服務(wù)的國家高新技術(shù)企業(yè)?！拔覀兩a(chǎn)的藍寶石襯底晶片被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及微電子行業(yè)、照明行業(yè)、手機電子消費品等領(lǐng)域，在藍寶石襯底領(lǐng)域約占全國10%的市場份額?！奔涡蔷щ娤嚓P(guān)負責(zé)人表示。

傳感器素有“電子五官”之稱，是一切數(shù)據(jù)信息獲取的功能器件。青島智騰微電子有限公司專注于高端傳感器和厚膜混合集成電路的設(shè)計研發(fā)和生產(chǎn)制造，重點從事加速度傳感器、定向傳感器、慣性導(dǎo)航測量設(shè)備等產(chǎn)品研制生產(chǎn)……

共抓產(chǎn)業(yè)鏈，貫通上下游。如今，已有20多家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)在青島高新區(qū)集聚，涵蓋芯片設(shè)計、材料加工、裝備制造、應(yīng)用開發(fā)等領(lǐng)域，產(chǎn)業(yè)鏈初具規(guī)模。

提升服務(wù)，優(yōu)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)

加大項目招引力度，打通產(chǎn)業(yè)發(fā)展鏈條，服務(wù)也必須跟得上。這一點，華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項目負責(zé)人吳志濤感慨頗深，“我們的建設(shè)工程許可證本來需要一周左右的時間，現(xiàn)在兩天就辦好了?！眳侵緷硎荆鄭u高新區(qū)專門成立了項目推進部，專人協(xié)助辦理相關(guān)事項，項目所需各項手續(xù)并聯(lián)審批、壓茬推進，實現(xiàn)了高效率落地開工。這也讓肖迪對未來充滿信心，“我們會努力將第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項目建設(shè)成樣板工程、精品工程，為青島乃至全國的第三代半導(dǎo)體材料的自主研發(fā)和生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)?！?/p>

眾多周知，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有利于突破諸多“卡脖子”的難題，為此，青島高新區(qū)對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展給予了重點支持，如設(shè)備、流片補貼，相關(guān)人才政策，便利審批服務(wù)，企業(yè)網(wǎng)格員服務(wù)等。“此次引進半導(dǎo)體項目的落地，將有效帶動高新區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，加快區(qū)域半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型升級，強化相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈上下游集群效應(yīng)，對推動高新區(qū)、青島乃至山東省在先進半導(dǎo)體材料行業(yè)的技術(shù)進步具有示范效應(yīng)?！鼻鄭u高新區(qū)招商部相關(guān)負責(zé)人表示。

伴隨一個個關(guān)鍵項目的加快落地，青島高新區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條也日漸完備起來。下一步，青島高新區(qū)將從芯片設(shè)計、半導(dǎo)體設(shè)備制造、封裝測試、二代和三代半導(dǎo)體材料生產(chǎn)及加工等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)細分領(lǐng)域入手，繼續(xù)擴充半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)儲備資源。與此同時，不斷優(yōu)化營商環(huán)境，吸引更多優(yōu)質(zhì)項目及高端人才來青島高新區(qū)發(fā)展，進一步完善產(chǎn)業(yè)鏈條，撬動發(fā)展強動能，營造良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地。

青島財經(jīng)日報/首頁新聞記者 孫夢 通訊員 肖玲玲 李青健