上微推出新一代先進封裝光刻機 首臺將于年內(nèi)交付 ©原創(chuàng) 2021-09-19 15:51 0 據(jù)上海微電子裝備集團官方公眾號，昨日，上微舉行新產(chǎn)品發(fā)布會，宣布推出新一代大視場高分辨率先進封裝光刻機。目前，上微已與多家客戶達成新一代先進封裝光刻機銷售協(xié)議，首臺將于年內(nèi)交付。
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